北京航空航天大学纳米结构高速直写机采购项目中标结果公告
采购项目名称：北京航空航天大学纳米结构高速直写机采购项目
采购文件编号：ZTXY-2015-H19444
采购人名称：北京航空航天大学
采购人地址：北京市海淀区学院路37号
采购人联系方式：010—82314680
采购代理机构全称：中天信远国际招投标咨询（北京）有限公司
采购代理机构地址：北京市朝阳区南磨房路37号华腾北搪商务大厦1107室
采购方式：公开招标
评审办法：综合评分法
简要技术要求及数量：详见招标文件
招标公告日期：2015年09月16日
确定中标日期：2015年10月08日
结果如下：
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中标供应商/地址
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中标金额（元）
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QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司 地址：北京市朝阳区霄云路36号1幢3层0306-0308室
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2949000
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主要货物的规格型号、数量等内容如下：
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序号
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货物名称
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主要规格
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数量（台）
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1
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纳米结构 高速直写机
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1、X，Y方向半节距分辨率好于10nm 2、Z向分辨率好于2nm 3、灰度直写能力（256级） 4、100mm×100mm有效直写面积 5、写场面积75um×75um 6、拼接精度好于10nm 7、套刻精度好于5nm 8、套刻不需要标记物 9、最高直写速度：20mm/s 10、闭环直写控制，直写与成像过程同步，实时反馈直写误差并修正 11、形貌Z向分辨率不低于0.1nm 12、室压操作环境，可充入保护气体 13、高稳定度减震平台
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1
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履约时间：按合同规定
评委名单：赵巍胜、陈卫权、顾敏、马蔷、杨树苹
项目联系人：王阳、梅雨润
联系电话：010-51909015
传真：010-51909183
本中标结果公告期限为1个工作日
纳米结构高速直写机招标文件--公开.pdf
中天信远国际招投标咨询（北京）有限公司
2015年10月08日
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