中国科学院深圳先进技术研究院磁控溅射镀膜系统采购项目中标公告
中国远东国际招标公司（采购代理机构）受中国科学院深圳先进技术研究院的委托，就“磁控溅射镀膜系统采购项目(招标编号:0722-1561-FE1248SZB)” 本项目适用政府采购法的相关政策，采用国内公开招标的方式为其选定项目供应商。本项目于2015年11月19日发布采购公告，2015年12月4日在深圳市福田区上步南路1001号锦峰大厦15B1进行开标、评标。现评标结果已经采购单位确认，特此公告如下：
1. 项目名称：磁控溅射镀膜系统采购项目
2. 招标编号：0722-1561-FE1248SZB
3. 用途:薄膜材料的沉积。
4. 简要技术要求：极限真空度：10-6Pa；3气路；4个靶位；适用于圆形靶直径75 mm；直流、射频兼容；衬底加热600oC； 衬底尺寸10 cm X 10 cm。
5. 定标日期：2015年12月4日
6. 投标人名称、报价及资格响应情况：
| 序号 | 投标人名称 | 资格响应文件 | 投标总价 |
| 1 | 大连齐维科技发展有限公司 | 1)*投标保证金金额；2)*营业执照副本（复印件加盖投标人法人公章）；3)*税务登记证副本（复印件加盖投标人法人公章）；4)*法人代表证明书；5)*法人授权委托证明书；6)*中标服务费承诺书；7)*《行贿犯罪档案查询告知函》复印件（加盖投标人法人公章，原件备查）；8)*投标报价未超出预算价。 | ¥496,500.00 |
| 2 | 成都派瑞思机电设备有限公司 | 1)*投标保证金金额；2)*营业执照副本（复印件加盖投标人法人公章）；3)*税务登记证副本（复印件加盖投标人法人公章）；4)*法人代表证明书；5)*法人授权委托证明书；6)*中标服务费承诺书；7)*《行贿犯罪档案查询告知函》复印件（加盖投标人法人公章，原件备查）；8)*投标报价未超出预算价。 | ¥498,000.00 |
| 3 | 成都百奥教学仪器有限公司 | 1)*投标保证金金额；2)*营业执照副本（复印件加盖投标人法人公章）；3)*税务登记证副本（复印件加盖投标人法人公章）；4)*法人代表证明书；5)*法人授权委托证明书；6)*中标服务费承诺书；7)*《行贿犯罪档案查询告知函》复印件（加盖投标人法人公章，原件备查）；8)*投标报价未超出预算价。 | ¥497,000.00 |
7. 候选中标供应商有：
1) 大连齐维科技发展有限公司
2) 成都百奥教学仪器有限公司
8. 预中标供应商：大连齐维科技发展有限公司
9. 中标金额：人民币肆拾玖万陆仟伍佰圆整(¥496,500.00)
10. 预中标供应商地址及电话：
大连市高新园区龙头分园龙天路27号 0411-86286788
11. 中标产品信息
| 序号 | 货物名称 | 规格型号 | 数量 | 单价 |
| 1 | 超高真空腔室 | ZKQ-CHI-VAC | 1 | ¥35,000.00 |
| 2 | 上盖步进电机驱动升降机构 | BJSJ-CHI-VAC | 1 | ¥11,000.00 |
| 3 | 样品驱动位移台(步进电机驱动) | WYT-CHI-VAC | 1 | ¥36,000.00 |
| 4 | 样品加热台 | JRT-CHI-VAC | 1 | ¥15,000.00 |
| 5 | 样品温控电源 | WKDY-CHI-VAC | 1 | ¥8,000.00 |
| 6 | 基板总遮挡板 | JZDB-CHI-VAC | 1 | ¥5,000.00 |
| 7 | 膜厚仪 | FTM-V | 1 | ¥22,000.00 |
| 8 | 膜厚仪直线驱动机构 | MHQD-CHI-VAC | 1 | ¥4,000.00 |
| 9 | 观察窗（CF63) | CF63-CHI-VAC | 2 | ¥1,500.00 |
| 10 | 观察窗挡板 | ZDB- CHI-VAC | 2 | ¥5,000.00 |
| 11 | 带观察窗快开门（CF150) | CF150- CHI-VAC | 1 | ¥6,000.00 |
| 12 | 全量程真空计 | MPG400 | 1 | ¥20,000.00 |
| 13 | 磁控溅射靶（CF150接口） | CF150-JSB-CHI-VAC | 4 | ¥15,000.00 |
| 14 | 射频电源及匹配箱 | SPDY-CHI-VAC | 3 | ¥20,000.00 |
| 15 | 气体质量流量计 | S49 32/MT+MT-50 | 1 | ¥21,000.00 |
| 16 | 气路（含微调阀和针阀） | QL-CHI-VAC | 1 | ¥8,000.00 |
| 17 | 分子泵(KK160/700) | KK160/700 | 1 | ¥38,000.00 |
| 18 | 机械泵(RVP-8) | RVP-8 | 2 | ¥10,000.00 |
| 19 | 旁抽管路 | GL-CHI-VAC | 1 | ¥5,000.00 |
| 20 | 超高真空闸板阀（CF150) | CF150-UHV-CHI-VAC | 1 | ¥16,000.00 |
| 21 | 旁抽管路角阀（CF35) | CF35-UV-CHI-VAC | 1 | ¥3,000.00 |
| 22 | 放气阀 | LV-CHI-VAC | 1 | ¥3,000.00 |
| 23 | 电磁阀 | GDC-J25 | 2 | ¥1,000.00 |
| 24 | 电源柜 | DYG-CHI-VAC | 1 | ¥5,000.00 |
| 25 | 架台 | JT-CHI-VAC | 1 | ¥5,000.00 |
| 26 | 触摸屏及控制软件 | PC-CHI-VAC | 1 | ¥30,000.00 |
| 27 | 盲板法兰、密封垫圈、波纹管等附属配件 | PJ-CHI-VAC | 1 | ¥5,500.00 |
| 28 | 其他配件 | | 1 | ¥40,000.00 |
12. 合同履行日期：签订合同后三个月内交货。
13. 项目评审专家：黄钺、杨忠义、曾祖铭、朱仕学、欧阳伏秋
14. 采购人、采购代理机构的名称、地址和联系方式
1）采购人联系方式：
联系人名称:中国科学院深圳先进技术研究院
联系人:陈先生
联系电话:0755-86392458
联系地址:深圳南山区西丽镇学院大道1068号
2）采购代理机构联系方式：中国远东国际招标公司
联系人：曾洁 （zgydgjzb_sz@163.com）
联系电话：0755-83004312
传真：0755-82077519
联系地址：深圳市福田区上步南路锦峰大厦15B
说明：本着“公开、公平、公正”的原则，上述中标公告公示三日。各有关当事人对中标（成交）结果有异议的，可以在中标（成交）公告公布之日起五个工作日内以书面形式向招标采购代理机构或采购人提出质疑，逾期将依法不予受理。
采购代理机构：
中国远东国际招标公司
二O一五年十二月八日
附：1248招标文件.doc
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