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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所等离子增强化学气相沉积(PECVD)、电感耦合等离子刻蚀机(ICP)招标采购项目招标公告

作者: 发布于:2015-11-06 15:34:00 来源:中国政府采购网

    :   2015116  

招标编号:  OITC-G15031626

1、 东方国际招标有限责任公司受  中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所(招标人)的委托,就等离子增强化学气相沉积(PECVD)、电感耦合等离子刻蚀机(ICP 采购项目(以下简称项目)所需的货物和服务,以公开招标的方式进行采购。

2、 现邀请合格的投标人就下列货物及有关服务提交密封投标。有兴趣的投标人可从招标代理所在地址得到进一步信息和查看招标文件。

3、 本次招标货物分为 2 个包,投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标,不得拆分,评标、授标以包为单位。

包号

设备名称

数量

主要技术规格

交货期

交货地点

1

等离子增强化学气相沉积(PECVD)、

1

反应腔尺寸:8寸或以上;自清洁系统;膜厚偏差≤±5%;本底真空:≤2Pa, 进气管路≥6

合同生效后4个月内

苏州纳米所指定地点(苏州)

2

电感耦合等离子刻蚀机(ICP

2

反应腔尺寸:8寸或以上;刻蚀均匀性偏差≤±5%;设备下电极Bias带有双频率自动切换,可以在常规刻蚀与慢速递损伤刻蚀之间切换频率 ;设备配备腔体加热系统;设备配备终点监测系统

4、 投标人资格条件:

1)   符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条要求;

2)   按本投标邀请的规定获取招标文件;

3)   以及本册招标专用册中的相关资格要求:

针对第1包:a)制造商须通过ISO9000系列质量认证; b)在国内有资深的安装、维护工程师,最好在中国大陆地区有其直属办事处机构,以便用户能及时获得相应的技术和商务支持。

针对第2:  a)制造商须通过ISO9000系列质量认证;b)业绩要求:制造商须提供近三年内20台以上电感耦合等离子刻蚀机在中国大陆以外用户名单及联系方式;c)在国内有资深的安装、维护工程师,最好在中国大陆地区有其直属办事处机构,以便用户能及时获得相应的技术和商务支持。

5、 有兴趣的投标人可从 2015 11 6 日至 2015  11 13  日每天13:30至下午17:00(北京时间)在东方国际招标有限责任公司(地址:北京市海淀区阜成路67 银都大厦15请乘大厅中间的电梯1507室查阅或购买招标文件,本招标文件售价为500/包,如需邮寄另加100元的邮资费用,邮寄过程中产生的任何问题由购买标书人自己负责,招标代理机构不负责任。售后不退。

6、 所有投标文件应于 2015 11 30  13:30(北京时间)之前递交至东方国际招标有限责任公司1513会议室,并须附有不低于投标金额1.5%的投标保证金,以招标机构为承受人。

7、 兹定于2015 11 30  13:30东方国际招标有限责任公司1513会议室公开开标。届时请投标人派代表出席开标仪式。

8、 本项目允许采购进口产品。

9、 本项目预算人民币第一包180万元,第二包396万元(每套198万元)。

 

招标机构名称:东方国际招标有限责任公司

地  址:北京市海淀区阜成路67号银都大厦15     邮  编:100142

电  话: 68725599-8440                         传  真:68458922 

电子信箱:wangjun@osic.com.cn                    联系人:王军  

 

人民币支付银行:

开户名(全称):东方国际招标有限责任公司

开户银行:招商银行北京西三环支行

帐号:862081657710001

 

外币支付银行:

开户名(全称):东方国际招标有限责任公司

NAME OF THE COMPANYTHE ORIENTAL INTERNATIONAL TENDERING COMPANY LTD.

开户银行:交通银行北京分行阜外支行

BANK: BANK OF COMMUNICATIONS BEIJING BRANCH FUWAI SUB-BRANCH

帐号:110060239012015620014

ACCOUNT NO.: 110060239012015620014

SWIFT CODE: COMMCNSHBJG

 

    招标人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

地址:苏州工业园区若水路398    邮编: 215123

电  话:0512 -62872516

备注(推保证金手续,应在评标结果发布后办理)

1、以支票、汇票、电汇支付的投标保证金,须开具一张以“东方国际招标有限责任公司”为抬头的收据并加盖原付款公司的财务章(请注明招标编号):

1)如需采用转账支票形式退还(仅限北京市的付款公司),请委派专人携带上述开具的收据后提交给我公司,方可办理转账支票退还手续:

2)如需采用电汇形式退还,请将上述开具的收据连同原付款公司的收款信息寄至我公司,方可办理银行电汇退还手续。

2、以银行保函支付的投标保函,请委派专人携带授权书至我公司,领取银行保函原件。
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