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四川大学关于场发射扫描电子显微镜的公告招标公告

作者：发布于：2015-10-21 15:02:00 来源：中国政府采购网

　　根据《中华人民共和国招标投标法》等有关法律、法规的规定，本招标项目有关设备（下称招标设备）已具备招标条件，向社会进行公开招标。现就相关情况做如下公告。

一、项目概况

招标项目编号：CDSB2015183
招标项目名称：场发射扫描电子显微镜
招标项目预算：￥2,280,000.00(超过预算的投标做废标处理)

二、项目内容

提示：如果认为该项目的技术参数指标存在倾向性或不合理性，请具体指出存在倾向性或不合理性的内容，并进行说明。请在报名时间截止之前以书面的形式反馈我单位，非常感谢您的参与。

序号	设备名称	单位	数量	售后服务	技术指标	备注
1	场发射扫描电子显微镜	套	1	1 卖方应在合同生效后至仪器运抵前至少两个月的时间内，向用户提供详细的安装要求并根据实际测量结果提出具体解决方案 2. 仪器到达用户所在地，在接到用户通知后一周内进行安装调试，直至通过验收 3.在用户所在地对用户进行为期1周的免费培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。验收后半年内组织买方相关人员2人参加在厂家举办的相关应用免费培训班 4. 卖方提供不少于一年的免费保修，保修期自仪器验收签字之日起计算。保修期间维修及零件更换费用由厂家负担	1. 电子光学系统 1.1. 两种末级物镜模式：磁浸入模式和无磁场模式 1.2. 60°锥度物镜几何设计 1.3. 自加热式物镜光阑，光阑加热自清洁 1.4. “穿过透镜”的压差真空系统 1.5. 减速模式，样品台偏压-4000V至 +50v或更宽范围。 1.6. 电子枪：高稳定肖特基场发射电子枪 1.7. 电子枪寿命保证12个月或以上 1.8. 放大倍率范围：35 ～ 1,000,000倍 2. 分辨率 2.1. 模式二次电子分辨率： 2.1.1. 高真空模式15 KV电压二次电子分辨率：≦1.0nm@15 kV (SE) 2.1.2. 高真空模式1 KV电压二次电子分辨率：≦1.4nm@1 kV (SE，非减速模式) 2.2. 低真空模式二次电子分辨率： 2.2.1. 低真空模式10KV电压二次电子分辨率：≦1.5 nm@10 kV 2.1.2. 低真空模式3KV电压二次电子分辨率：≦1.8 nm@3 kV 2.3 要求100V低电压下，背散射电子像分辨率：≦3.5nm@100V （配备高灵敏度、低电压取向背散射探测器） 3. 电子束其他参数 3.1. 加速电压：200 V ~ 30 kV 3.2. 着陆电压：50 eV ~ 30 keV 3.3. 电子束束流：0.6 pA ~ 200 nA或者更大，且连续可调 3.4. 最大水平视场宽度：4.0 mm在5 mm工作距离（在四窗口图像显示模式下，对应35X最小放大倍数） 4. 样品室 4.1. 样品室左右内径≧370 mm 4.2. 分析工作距离5 mm 4.3. 探测器/附件接口：≧21个 4.4. EDS接受角：35度 5. 样品台及样品 5.1. 五轴马达驱动 5.2. 全对中样品台 5.3. 移动范围：X ≧ 110mm；Y ≧ 110 mm；Z ≧ 25 mm；倾斜T = -15 ~ +75°；R= 360°连续旋转 5.4. 重复精度 < 2.0 um (0°倾角) 5.5. 最大样品高度：到全对中高度，60mm 5.6. 最大样品重量：样品台在任何位置500 g (可以达到2Kg@0°) 5.7. 最大样品尺寸：？150 mm无限制旋转（对更大的样品，可以放进去观察，但旋转有限制） 5.8. 多座样品架，直接安装在样品台上，可放置5个以上？12mm标准样品座 6. 探测器 6.1. 样品室红外CCD探测器 6.2. 低真空二次电子探测器，LVD 6.3. E-T二次电子探测器 6.4. 极靴内二次电子探测器，TLD –SE 6.5. 极靴内背散射电子探测器，TLD –BSE 6.6. 高灵敏度、低电压取向环形背散射电子探测器。确保100V低电压下背散射像分辨率指标≦3.5nm 7. 真空系统 7.1. 必须具有高真空模式和低真空模式两种模式 7.2. 完全无油真空系统（涡轮分子泵+机械泵+离子泵）全自动控制 7.3. 1 x 220l/s涡轮分子泵 (TMP) 7.4. 1 x PVP-旋片式干泵 7.5. 2 x 离子泵 (IGP) 7.6. 样品室真空度(高真空模式下) ＜ 6×10-6 mBar（24小时抽真空后） 7.7. 样品室真空度(低真空模式下) ＜2 mBar. 7.8. 抽真空时间：＜3.5分钟 8. 图案处理器 8.1. 电子束驻留时间：0.050 -25,000 μs / 象素 8.2. 图像扫描：最高达6144 x 4096 像素分辨率 8.3. 图像文件格式：TIFF (8，16，或24位)，BMP或JPEG。 8.4. 单窗口或4窗口图像显示 8.5. Smart SCAN智能扫描技术(256帧平均或积分，线积分或平均，隔行扫描) 8.6. DCFI (漂移补偿帧积分) 9. 系统控制 9.1. 基于Windows 7的64位图形用户界面，并配备品牌计算机工作站（workstation）：CPU：INTEL XEON或以上、主频：≥ 2.4G、内存：≥ 4GB、硬盘： ≥500G、光驱：DVD可重复刻录 9.2. 扫描电镜的所有操作都可以在配备的计算机工作站完成 9.2. “每束一窗口”图形用户界面，最多4个同时活动窗口 9.3. 24寸液晶显示器，显示分辨率1920x1200像素或以上（具有支持选配第二台显示器的软硬件配置） 9.4. MagicSwitch (软件控制的转换盒) 9.5安装光学相机，照片用于样品导航的彩色图像导航器：通过加装光学相机，提供样品台的光学照片，便可使用此光学照片进行导航 10.离子溅射镀膜仪的技术指标要求 10.1. 全自动抽真空和全自动操作的离子溅射镀膜系统 10.2工作腔室： 150 mm（内径）x 127 mm（高）；腔室底部具有真空防污染挡板装置，腔室外部具有聚酯安全防护罩 10.3. 具有落入式快换样品台设计；配有可调高度的可变速旋转台，直径为50 mm，具有6个可放置15mm、6.5mm或？"SEM样品托的位置。靶面至样品台距离可调范围：38-79mm，转速为8-20 rpm；另配直径60 mm可倾斜旋转样品台 10.4. CPU程序全自动控制，微处理器数字控制方式，可预设参数 10.5. 触摸屏用户界面，镀膜方案可通过触摸按键实现预设并存储 10.6. 溅射靶材：直径不低于55mm，厚度大于0.1mm；配有铂靶 10.7．真空系统：5m3/hr旋转进口机械泵；系统真空度不低于10-2mbar量级；机械泵为外部安装式 10.8．溅射工作真空范围：3 x 10-2 到5 x 10-1 mbar 10.9. 溅射电流：0-80 mA 11. 设备配置需求 11.1. 场发射环境扫描电镜（包括样品室红外CCD探测器1个；低真空二次电子探测器LVD 1个；E-T二次电子探测器 1个；极靴内二次电子探测器，TLD –SE 1个；极靴内背散射电子探测器，TLD –BSE ；样品台偏压为-4000V至 +50v的减速模式；完全无油真空系统；操作台等完全无油真空系统；操作台）， 1套； 11.2. 高灵敏度取向背散射电子探测器，DBS，1个 11.3. 六通道放大器 1个 11.4. 备用物镜光阑（ 2 x 30, 40, 50, 100 um） 1套 11.5. Nav-Cam安装光学相机，照片用于样品导航的彩色图像导航器 1个 11.6. 要求配有集成式的等离子清洗器，其控制软件嵌入在电镜主机软件中，并且能够在用户界面上完成所有的控制操作 1个 11.7. 进口离子溅射镀膜仪 1套 12. 要求提供至少30个以上与本次投标场发射扫描电镜完全相同型号的中国用户名单。	附件1

三、供应商资格要求：

1、在中国境内注册并具有独立法人资格的合法企业. 2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度； 3、具有履行合同所必须的设备和专业技术能力； 4、具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录； 5、参加本次采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法违规记录；

四、报名方式：

报名方式：所有参加报名的厂商家必须先在网上注册并且提交相关资料，待审核通过后才能进行报名。各注册厂商家查看招标公告，点击“我要报名参加”，填写报名信息（需要在招标公告截至时间以前），在选择交费时，如果选择线上交费，请各厂商家网上转账，并将转账凭证上传（注:转款凭证必须写明招标标号以及附上接收发票的地址.）。如果选择线下交费，请在2015-10-21至2015-11-09 上午 09 :00 - 11:00，下午 15 :00 - 17:00（北京时间，法定节假日除外）到成都市一环路南一段二十四号四川大学明德楼（原行政楼）208B室交费。由于现场交费手续多，时间长，请大家最好选择线上交费。

五、招标文件的售价与下载：

标书售价：招标文件每套售价￥200.00元，售后不退。
招标文件下载：成功报名后需要登录供应商平台-->投标管理菜单，针对报名的招标项目下载招标文件。

六、投标文件递交

投标文件递交的时间为：2015年11月10日11:00 递交投标文件的截止时间（投标截止时间，下同）为2015年11月10日11:00，地点为成都市一环路南一段二十四号四川大学明德楼（原行政楼）208B室。
逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。

七、开标评标时间及地点：

开标时间一般为标书递交的截止时间，如有变化，另行通知。
开标地点一般为标书递交地址，如有变换，另行通知，开标时请参与投标方准时派员出席，每一投标单位限3名以内代表参加(外地厂商可不出席)。开标前，允许各投标人有五分钟的口头补充表述(也可以放弃)。

八、咨询方式：

招标人：	四川大学	地址：	成都市一环路南一段二十四号
联系人：	黄老师　　曾老师	邮编：	610065
电话：	028-85406315	传真：	028-85406315
邮箱：	sculab@126.com

九、汇款账户：

户名：	四川大学
开户银行：	建行成都川大支行
账号：	51001870469059888666

　　四川大学实验室及设备管理处

　　2015-10-21 14:57:47

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