西北工业大学受用户委托，对机电学院磁控溅射仪项目以公开招标方式进行采购，现邀请合格的投标人前来投标。

　　设备主要功能和用途：

　　磁控溅射仪是制备微米纳米器件的必备设备，可在聚合物等多种基底上制备多种功能薄膜结构，普通金属薄膜， ITO (indium oxide doped with tin)导电薄膜，光电薄膜，抗腐蚀硬质膜，半导体薄膜，氧化物绝缘层等。

　　整套设备原装进口(非国内组装)，用于金属薄膜的沉积；

　　设备尺寸紧凑，尺寸：≤700 x 1000 x 1000 mm³；

　　样品尺寸：≤4 inch (100mm)；

　　基片旋转：0~10 rpm 可调；

　　真空系统：

　　配置涡轮分子泵（抽速不低于80 L/S）、机械泵（抽速不低于2 L/S，带防返油过滤器）

　　真空测量：低真空规传感器，高真空规传感器，各一；

　　极限真空：≤5×10^-6 Torr

　　基础真空：≤3×10^-5 Torr

　　真空时间：室压至真空3×10^-5 Torr ≤80分钟（充干燥氮气后）

　　漏率：≤ 8×10^-5 mbar L/s

　　气路系统：

　　配置2路进气（O₂、Ar），气体流量:20-100 sccm（可调）;

　　磁控靶组件：

　　溅射靶数量：2"或3" 靶（可选） 1 个，带挡板；

　　溅射方式：直流或射频可选；

　　4英寸片溅射均匀性优于±5%，重复性优于±3%。

　　控制系统：

　　手动控制

　　其他：

　　货期：2个月；

　　技术培训及费用:包含；

　　售后服务: 终身维修和技术支持；

　　保修期:验收后12个月，或发货后13个月，以先到的时间计算；

　　维修响应时间: 2个工作日；

　　一、项目名称：机电学院磁控溅射仪

　　二、招标编号：NPU-ZB-2015049

　　三、招标数量：1套

　　四、 技术规格：详见招标文件

　　五、 交货期： 自中标通知书发出之日起60天

　　六、 资格审查：本项目采用资格预审方式进行

　　七、 投标人资格要求：

　　1.投标人应具有国内独立法人资格，符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：“具有独立承担民事责任的能力；具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；在前三年内的经营活动中没有重大违法记录；符合法律、行政法规规定的其他条件”。

　　2.具有较强的西安本地售后服务保障体系，配有较强的专业技术队伍，能提供快速的售后服务响应。

　　3.本项目不接受联合体投标。

　　八、报名时须按以下顺序提供报名资料：（复印件加盖公司红章）

　　1.法人授权委托书原件（法定代表人、被授权人签字和被授权人身份证原件）

　　2.营业执照副本

　　3.税务登记证副本

　　4.组织机构代码证

　　5. 投标人若为境外企业须提供外国（地区）企业常驻代表机构登记证、公司注册证书、商业登记证三证中任一证均可

　　6. 投标人提供2013年以来承担的高等院校、科研院所同类项目合同（复印件加盖红章）1份（以合同签订日期为准）

　　报名时间：

　　2015年10月19日－10月23日（法定公休日、法定节假日除外）

　　每天上午8：30－11：30 下午14：30－17：00

　　九、资格预审说明：

　　*本项目采用资格预审方式进行，资格预审费200元，报名时交纳。招标人对投标报名单位进行资格预审，只有资格预审合格的单位才能参加投标，本项目具体资格预审时间另行通知。

　　地址：西安市友谊西路127号西工大研究生东馆517室

　　具体招标要求详见招标文件

　　十、发布公告的媒介

　　中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）

　　西北工业大学官网（http://www.nwpu.edu.cn/）

　　十一、联系人及电话

　　技 术：袁广民 13389235257

　　商 务：李 迁 029-88493786 Email:liying1222@nwpu.edu.cn

　　地 址：西安市友谊西路127号西工大研究生东馆517室

　　西北工业大学招标与设备采购中心

　　2015年10月19日