西北工业大学受用户委托，对凝固技术国家重点实验室聚焦离子/电子双束系统以公开招标方式进行采购，现邀请合格的投标人前来投标。

　　设备概况：

　　用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构，高质量定点TEM样品制备，化学和晶体结构三维形态分析。离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积，磁性金属样品的沉积等功能；高分辨扫描电镜功能可对离子束加工试样进行实时观测。

　　1          安装条件

　　电压：~230V，~50Hz；环境温度：15°～30°C；相对湿度：< 80% RH

　　2          技术要求及参数

　　3.1 离子束技术要求

　　3.1.1 离子源种类：液态Ga离子源；

　　3.1.2 交叉点分辨率：≤2.5.0nm @ 30kV (统计、平均值法测量)；

　　3.1.3 加速电压：范围不小于0.5kV - 30 kV，连续可调；

　　3.1.4 束流强度：范围不小于0.5PA-60nA，连续可调；

　　3.1.5具有自动光阑，束流连续可调；

　　3.1.6束流密度：最大可达65A/cm²

　　3.1.7 高分辨保证：不低于1000小时；

　　3.1.8 样品室内可实现零磁场，保证电子束离子束可以在任何模式下都能实时同时工作。

　　3.2 辅助气体注入系统：

　　3.2.1 每一种气体均是独立的分离式气体注入器，注入器中的气体在用完后，可重新配置其他气体，而不需要更换注入器；

　　3.2.2 每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染

　　3.2.3 配置至少包括Pt沉积，碳沉积等两路气体注入系统，可在离子束、电子束诱导下进行沉积和刻蚀，拥有10种以上备选过程方案；

　　3.3 具备实时观察离子束加工的监控功能，保证电子束离子束可以在任何模式下都能实时同时工作。

　　3.4 具备由离子束和电子束配合自动切片与成像，合成三维图像的功能。

　　3.5 电子束技术要求

　　3.5.1 电子枪类型：肖特基场发射灯丝

　　3.5.2 分辨率要求：

　　3.5.2.1在最佳工作距离时：≤0.6 nm@15KV（二次电子），≤0.8 nm@1kV（二次电子），≤1.0nm@500V；

　　3.5.2.2在束交叉点时：≤0.6 nm at 15 kV（二次电子），≤1.5 nm at 1 kV（二次电子）

　　3.5.3样品加工后，具有快速切换到电子束检查与成像功能

　　3.5.4电子束和离子束交叉点工作距离：4-5 mm

　　3.5.5加速电压：范围不小于0.5KV-30KV；着陆电压：范围不小于30V – 30kV (连续可调)

　　3.5.6具有电子束减速模式：-4kV-0V

　　3.5.7束流强度：范围不小于1pA-100nA

　　3.5.8 具有恒功率物镜，以及可加热式物镜光阑

　　3.5.9 配置单色仪技术，要求电子束色散能量不大于0.2eV

　　3.6样品室

　　3.6.1样品腔大小：长宽或直径不小于330mm，高度不小于260mm

　　3.6.2样品腔具有不少于15个附件接口（至少包括2套红外CCD相机系统等）

　　3.7样品台

　　3.7.1样品台，不少于五轴马达驱动，可保持观察视野在旋转过程中不变

　　3.7.2 X、Y轴移动范围不小于150mm，Z方向移动范围不低于10mm，回复精度不大于1.0mm。

　　3.7.3可绕Z轴旋转任意角度 (360度)，倾角范围不小于70度，移动精度优于0.1度。

　　3.7.4 最大样品直径不小于150mm

　　3.7.5最大样品高度：样品台到束交叉点不小于55mm

　　3.7.6 最大样品重量：不小于500g

　　3.8真空系统

　　3.8.1 完全无油真空系统，其中机械干泵的抽率不低于200L/S

　　3.8.2 电子枪真空度：优于1.0×10^-9mBar

　　3.8.3样品室真空度：优于3´10^-6mBar

　　3.9探测器

　　3.9.1样品室内光耦和光电倍增管E-T二次电子探头

　　3.9.2 极靴内二次电子探头

　　3.9.3 极靴内背散射电子探头

　　3.9.4 镜筒内二次电子探头

　　3.9.5 镜筒内能量过滤背散射电子探头

　　3.9.6 样品室内电动可伸缩性定向背散射电子探头

　　3.9.7 二次离子探头

　　3.9.8 扫描透射STEM探头

　　3.9.9 不少于2个样品室红外CCD相机

　　3.9.10 可以将任意两个探测器信号进行混合，以增强图像信息

　　3.10 冷却水系统

　　要求有空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件。

　　3.11系统控制

　　3.11.1 具有Windows 7 或windows 8 64位操作系统的图形用户界面，键盘，鼠标，及手动用户界面

　　3.11.2 图像显示：两台24” LCD显示器, 分辨率不低于1920 x 1200

　　3.11.3 图像文件最高像素：不低于6144 x 4096像素

　　3.11.4 文件格式：包含但不限于TIFF (8, 16 or 24位)，BMP或JPEG格式，单幅或4幅显示

　　3.11.5 配置16位图像生成器，可导入图形文件加工复杂图形

　　3.11.6 具备程序制定、改造软件，能控制镜筒，探测器，样品台，等的运作模式。

　　3.11.7计算机配置：采用进口品牌计算机工作站，配置不低于: CPU/Intel Cure 2 Duo 2.4GHz ，内存/32GB，硬盘1TB；8x DVD-RW读可写光驱；24”平板液晶显示器；操作系统及应用软件.

　　3.12标准应用软件

　　3.12.1 应具有智能扫描、集成漂移补偿、蒙太奇导航功能

　　3.12.2应具有图像拼接功能，保证超大视野的图像

　　3.12.3应具备操作导航功能，自动引导用户完成高分辨观察、分析等操作

　　3.12.4应具备数据显示（加速电压、放大倍数、微标尺、工作距离、日期、时间、真空度、探头种类）

　　3.12.5应具备标注功能（图形类(圈、矩形、箭头、测量线)、文字等）

　　3.12.6 应具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等

　　3.12.7 应保证双台显示器无缝式对接，每台显示器均能实时显示和处理图像及软件的操作

　　3.12.8 应提供内嵌式的实时帮助文件，保证操作者的使用直观便捷化。

　　3.13其他功能

　　3.13.1配置一体化的等离子清洗，控制软件集成在电镜软件中

　　3.13.2配置电荷中和器

　　3.13.3配置光学导航探测器，保证光电导航，可将光学照片自动编码，直接导入电镜软件，实现对样品台及样品位置的实时观察和控制

　　3.13.4具有原位样品自动提出系统 (纳米机械手)，用于将制备好的切割样品提出，控制软件集成在电镜软件中

　　3.13.4.1 软件可控制机械手沿X/Y/Z/方向直线移动和轴(R轴)向360旋转。

　　3.13.4.2 X/Y/Z单方向重复精度优于100nm，旋转精度不低于1°

　　3.13.4.3最小步进尺寸：≤ 50nm，漂移量：≤ 50nm/min

　　3.13.4.4切割时的工作距离：4-5mm

　　3.13.4.5超过5um后的Z’的移动偏差：< 500nm

　　3.13.4.6震颤偏差：< 15nm

　　3.13.4.7与双束无缝式一体化，通过双束软件界面可实时控制

　　3.13.4.8配置可替换的探针不少10根，半月形铜网不少于50个

　　3.13.5具有三维EDS和EBSD的软硬件接口。

　　4产品配置要求

　　4.1主机系统                                                                            一套

　　4.2电镜控制系统                                                                           一套

　　4.3镜筒内二次电子探头                                                            一套

　　4.4镜筒内能量过滤背散射电子探头                                           一套

　　4.5样品室二次电子探头                                                               一套

　　4.6样品室可伸缩定向背散射电子探头                                       一套

　　4.7极靴内二次电子探头                                                               一套

　　4.8极靴内背散射电子探头                                                       一套

　　4.9 二次离子探头                                                                          一套

　　4.10 扫描透射STEM探头                                                            一套

　　4.11样品室光学显微镜探头                                                         一套

　　4.12样品室红外CCD相机（两台）                                           一套

　　4.13电荷中和器                                       一套    

　　4.14电子束减速模式                                                                     一套

　　4.15 一体化等离子清洗器                                                            一套

　　4.16无油真空系统                                                                         一套

　　4.17包含金属Pt铂沉积、碳沉积两路气体                            一套

　　4.18原位TEM样品提取系统                                                       一套

　　4.19 FIB/TEM样品座                                                                     一套

　　4.20冷却循环水机                                                                     一套

　　4.21 进口电镜标准样品                                                                一套

　　4.22其它必备备品备件                                                             一套

　　4.23配有能够持续供电1小时10KVA不间断稳压电源UPS 一台

　　4.24镓离子源  除过机器自带的镓离子源，额外一套

　　4.25场发射光阑和灯丝 除过机器自带的光阑灯丝，额外两套

　　4.26 进口空压机                                                                        一套

　　4.27 三维EDS和EBSD的软硬件接口                                       一套

　　5 技术服务条款

　　5.1 安装、调试与培训

　　5.1.1合同签订后提供设备的预安装场地要求说明书；

　　5.1.2在仪器到货前厂家派遣工程师携带专用设备对用户实验室的地面振动和环境杂散磁场进行免费的检测；

　　5.1.3仪器到货后，厂家需在接到用户通知后10个工作日内进行安装调试；提供2名用户管理人员的现场操作使用及基本维护的免费培训。

　　5.1.4随机提供产品使用说明书和维护说明书；

　　5.1.5随机提供系统软件安装光盘

　　5.2 验收

　　实现系统成套联调并达到标书的技术要求。

　　5.3 保修期

　　保修期为安装验收合格之日起一年，在保修期外软硬件出现的问题，接到用户通知后二十四小时内给予答复，五个工作日内给与解决方案并到达用户现场解决问题。重大问题或其它无法立刻解决的问题应在两周内解决或提出明确的解决方案。

　　设备供应商提供终身维修，并保证保修期满后不低于十年的零配件及消耗品的供应，如发生故障，需更换零部件，按照成本价收取。

　　5.4技术培训

　　在用户现场对用户为期一周的培训。培训内容包括：仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等；一年内，免费提供技术培训不少于两次。

　　5.5 软件升级

　　在硬件支持的前提下，免费提供软件升级。

　　5.6 提供维护手册和操作手册。

　　6 包装要求及运输方式

　　6.1包装要求：应使用崭新坚固之木箱（标准出口包装），适合于空运、陆运等长途运输方式；适合气候变化；抗震、防潮、防雨、防锈、防冻。投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、锈蚀、费用增长等后果负责。

　　6.2运输方式： CIP运输到用户指定现场；

　　7 交货日期

　　自中标通知书发出之日起 180天内。

　　8 交货地点

　　中国西安

　　一、     项目名称：聚焦离子/电子双束系统

　　二、     招标编号：NPU-ZB-2015036

　　三、     招标数量：1套

　　四、     技术规格：详见招标文件

　　五、     交货期：　自中标通知书发出之日起180天

　　六、     资格审查：本项目采用资格预审方式进行

　　七、     投标人资格要求：

　　1.投标人应具有国内独立法人资格，符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：“具有独立承担民事责任的能力；具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；在前三年内的经营活动中没有重大违法记录；符合法律、行政法规规定的其他条件”。

　　2.具有较强的西安本地售后服务保障体系，配有较强的专业技术队伍，能提供快速的售后服务响应。

　　3.所投的产品须有针对本次投标的厂家专项授权书（截、开标时提供原件）

　　4.本项目不接受联合体投标。

　　八、报名时须按以下顺序提供报名资料：（复印件加盖公司红章）

　　1.法人授权委托书原件（法定代表人、被授权人签字和被授权人身份证原件）

　　2.营业执照副本

　　3.税务登记证副本

　　4.组织机构代码证

　　5.投标人若为境外企业须提供外国（地区）企业常驻代表机构登记证、公司注册证书、商业登记证三证中任一证均可

　　6.投标人提供2013年以来同类项目合同（复印件加盖红章）1份（以合同签订日期为准）

　　报名时间：

　　2015年9月30日－10月13日（法定公休日、法定节假日除外）

　　每天上午8：30－11：30 下午14：30－17：00

　　九、资格预审说明：

　　*招标人对投标报名单位进行资格预审，只有资格预审合格的单位才能参加投标，本项目具体资格预审时间另行通知。

　　地址：西安市友谊西路127号西工大研究生东馆517室

　　具体招标要求详见招标文件

　　十、发布公告的媒介

　　中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）

　　西北工业大学官网（http://www.nwpu.edu.cn/）

　　十一、联系人及电话

　　技    术：温晓莉 13891826739

　　商    务：李 迁 029-88493786  Email:liying1222@nwpu.edu.cn

　　地    址：西安市友谊西路127号西工大研究生东馆517室

　　                          西北工业大学招标与设备采购中心

　　                               2015年9月30日