一、采购人：中国科学院高能物理研究所

二、采购项目名称：等离子体增强原子层沉积系统

三、招标编号：IHEP-DK-ZB-08/2015

四、招标内容：

（一）项目简介

本项目是对国家重大科研仪器研制项目“X射线微孔光学（MPO）技术的国产化和望远镜样机研制”为提高MPO镜片内壁对X射线反射率使用的等离子体增强原子层沉积系统进行的国内公开招标。

此次招标的等离子体增强原子层沉积系统将为使用在空间望远镜中的X射线聚焦镜片MPO提供更高的X射线反射能力。国产MPO镜片材料为金属镍，对X射线的反射率比较低，将直接影响镜片对空间X射线源的成像能力。等离子体增强原子层沉积系统能够在MPO微孔内壁均匀的沉积一层重金属，用以提高对X射线的反射率。

（二）项目内容

本次招标内容为等离子体增强原子层沉积系统，具体包括：投标人根据招标人提供的所沉积薄膜的性能要求进行等离子体增强原子层沉积系统的设计；投标人负责提供等离子体增强原子层沉积系统一套，包括使系统正常运行的软件和硬件系统；投标人负责上述系统的安装、调试以达到招标人提出的技术指标；投标人负责提供氧化铝薄膜沉积的标准工艺配方和使用该系统沉积金属铱薄膜的工艺。

（三）主要技术指标

1、样品台直径4英寸；样品台能够加热到400ºC；反应腔室外壁能够加热到大于等于150 ºC；反应室设观察窗；可在样品台表面与加热器表面之间施加脉冲电场，电压可调范围0~600V，电流100mA，脉冲电场的大小和极性可在软件上控制，可以实现样品台表面的电场方向与前驱体源同步切换。

2、两套鼓泡源系统。包括：2个100mL的前躯体鼓泡不锈钢瓶及其控温系统及相关专用阀门。

3、两路直接加热源系统及相关专用阀门。50mL不锈钢源瓶。加热源系统及其输运管路最大加热温度可达到200 ºC。

4、加热源和鼓泡源分别从独立的进口进入到反应腔室。采用进口数字式质量流量计控制；前驱体源瓶采用标准VCR接口，工艺气体管路均要求采用电抛光不锈钢材料，所有联接部件均采用金属VCR密封。

5、配置高性能真空泵和分子泵组，真空泵前端安装粉层过滤装置，系统本底真空可达到2*10-6 Torr；真空反应腔室配置监测反应腔压力脉冲变化的MKS数字式压力传感器；真空泵前端抽气管路配置热阱，用于分解未反应的前驱体源。热阱的最高加热温度能够达到600℃。

6、具有远程感应耦合等离子体设计，等离子体发生腔室与原子层沉积真空反应腔室直接相连，与样品台表面的距离大于150mm；4路可用于等离子体工艺的气路（氩气、氮气、氧气和氢气），采用进口数字式质量流量计控制；射频电源功率0-300 W可任意设定，匹配调节。

7、用软件可以方便的设定薄膜沉积条件及工艺参数，能全自动运行；操作系统具有互锁报警、状态监控和自我保护等安全功能。

8、提供使用此系统沉积金属铱薄膜的工艺配方，并能够沉积出一定厚度的铱薄膜。

详见招标文件第三章中“技术文件”。

五、投标人资格条件：

（1）政府采购法第二十二条规定的资格条件；

（2）有自主完成本项目设计、安装和检验测试的能力及类似项目业绩；

（3）有使用本系统进行薄膜沉积的自主研发水平；

（4）具有固定的经营场所或常驻地点、维护人员，且能提供良好的售后服务及技术支持；

（5）不接受联合体投标；

（6）在招标人处登记并购买标书。

六、招标文件发售时间：2015年7月16日～2015年7月28日

每天9:00～11:00、14:00～16:30（北京时间）

七、招标文件发售地点：北京市石景山区玉泉路19号乙院（高能所）

主楼A135室（大装置管理中心）

八、招标文件购买方式：

投标人应在招标人处登记并购买招标文件，招标文件每套500元人民币（含招标文件电子版，购买时请携带U盘），招标文件售出不退。

如需邮购，请电汇标书费（500元人民币，快递费到付）。款项（500元人民币）汇出后，请将银行出具的汇款回单、投标人名称、特快专递地址、E-mail地址等信息发邮件至huangse@ihep.ac.cn。我们收到邮件后会立即将招标文件用特快专递（到付）寄给您，同时将招标文件电子版用E-mail发给您。

投标时将收取不少于投标金额1%的投标保证金。

注意：投标单位购买招标文件时请携带单位介绍信(盖公章)备查。请在介绍信上注明单位全称及其地址、邮编；联系人及其联系方法（包括手机、电话、传真、E-mail地址等）或提供购买人个人名片以便联系。

九、投标截止时间：北京时间2015年8月11日上午9:00

十、投标文件递交地点：北京市石景山区玉泉路19号乙院（高能所）

主楼会议室（大装置管理中心）

十一、    开标时间：北京时间2015年8月11日上午9:00

十二、    本项目联系方式：联系人：黄释娥

Email：huangse@ihep.ac.cn

电    话：010-88236304

全    称：中国科学院高能物理研究所

开户银行：中国工商银行北京永定路支行

账    号：0200  0049  0901  4451557

本信息刊登在中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）和我所网站（www.ihep.cas.cn）上。