张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发晶圆自动清洗系统和晶圆片喷雾清洗设备采购项目中标公告
上海国际招标有限公司受中国科学院上海高等研究院的委托，就“张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发晶圆自动清洗系统和晶圆片喷雾清洗设备采购项目”项目（项目编号：18101816）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：
一、项目信息
项目编号：18101816
项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发晶圆自动清洗系统和晶圆片喷雾清洗设备采购项目
项目联系人：赵丽莉
联系方式：86-21-62791919×135
二、采购单位信息
采购单位名称：中国科学院上海高等研究院
采购单位地址：上海市浦东新区海科路99号
采购单位联系方式：陈洁021-20325067
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：
本次采购货物为：晶圆自动清洗系统：一台/套，用于高温氮化硅介质膜热生长、二氧化硅介质膜热生长工艺前的清洗，化学液包括DHF、SPM、SC1、SC2；晶圆片喷雾清洗设备：一台/套，用于干法刻蚀、离子注入去胶后的清洗，化学液包括DHF、SPM、SC1。
四、采购代理机构信息
采购代理机构地址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
采购代理机构联系方式：赵丽莉86-21-62791919×135
五、中标信息
招标公告日期：2019年03月29日
中标日期：2019年04月24日
总中标金额：860.0 万元（人民币）
中标供应商名称、联系地址及中标金额：
| 序号 | 中标供应商名称 | 中标供应商联系地址 | 中标金额(万元) |
| 1 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | 860.000000 |
本项目招标代理费总金额：5.268 万元（人民币）
本项目招标代理费收费标准：
根据国家发改委1980号文货物类标准收费下浮40%后收取。
评审专家名单：
沈培坚、谈进、张惠芬、张轩雄、李斌
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：
晶圆自动清洗系统：一台/套；规格型号：Bpure-WE2091AHF ：5580000.00元；
晶圆片喷雾清洗设备：一台/套；规格型号：Bpure-WC2111ARC:3020000.00。
六、其它补充事宜
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