“清华大学等离子增强化学气相沉积系统”项目（项目编号：清设招第2018289号） 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：

一、项目信息

项目编号：清设招第2018289号

项目名称：清华大学等离子增强化学气相沉积系统

项目联系人：李美珍，杨 晶

联系方式：62785713

二、采购单位信息

采购单位名称：清华大学

采购单位地址：清华大学实验室与设备处老环境楼101C办公室

采购单位联系方式：联 系 人：李美珍 ，杨 晶；联系电话：62785713

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

在半导体衬底或有机衬底上沉积高质量的介质薄膜，包括：氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy薄膜等。

四、中标信息

招标公告日期：2018年12月29日

中标日期：2019年01月23日

总中标金额：239.2 万元（人民币）

中标供应商名称、联系地址及中标金额：

中 标 人：慧创（北京）仪器设备有限公司         

地   址：北京市昌平区立汤路60号2栋3-201

中标金额：239.2万元人民币

本项目招标代理费总金额：0.0 万元（人民币）

本项目招标代理费收费标准：

无

评标委员会成员名单：

刁宏伟、缪旻、徐菊、刘磊（前述专家均为自选专家）、王谦

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

等离子增强化学气相沉积系统1套

五、其它补充事宜