上海新微技术研发中心有限公司8寸MEMS研发中试线建设项目深硅干法刻蚀设备采购国际招标中标公告
上海国际招标有限公司受上海新微技术研发中心有限公司的委托,就8寸MEMS研发中试线建设项目深硅干法刻蚀设备采购国际招标项目(项目编号:0705-174115604112)组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:
一、项目信息
项目编号:0705-174115604112
项目名称:8寸MEMS研发中试线建设项目深硅干法刻蚀设备采购国际招标
项目联系人:张靖姝
联系方式:86-21-62791919×198
二、采购单位信息
采购单位名称:上海新微技术研发中心有限公司
采购单位地址:上海市嘉定区城北路235号3号楼
采购单位联系方式:游家杰、邱鹏,86-21-69923266×8654、8601
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:
(1)项目用途:8寸MEMS研发中试线建设项目。
(2)简要技术要求:
品目号 | 货物名称 | 简要技术说明 |
---|---|---|
1 | 深硅干法刻蚀设备 | 利用等离子体,刻蚀厚硅层 |
(3)合同履行期:2017年6月30日前交货
四、采购代理机构信息
采购代理机构地址:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼
采购代理机构联系方式:张靖姝、王晋,86-21-62791919×198、161
五、中标信息
招标公告日期:2017年03月02日
中标日期:2017年04月11日
总中标金额:
中标供应商名称、联系地址及中标金额:
序号 | 中标供应商名称 | 中标供应商联系地址 | 中标金额(万元) |
1 | SPTS Technologies Limited | Ringland Way, Newport, NP18 2TA, United Kingdom | 1088.7148 |
评审专家名单:
汪正、张贵荣、葛福弟、邹跃、徐元俊
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:
(1)中标标的:深硅干法刻蚀设备
(2)规格型号:200mm Omega c2L Rapier Etch System
(3)数量:1套
(4)单价:USD 1,580,000.00
(5)服务要求:设备供货及相关伴随服务
六、其它补充事宜
(1)本项目的中标金额为USD 1,580,000.00。
(2)本项目的评标结果已在中国国际招标网(网址为:http://chinabidding.com)上发布,如投标人或其他利害关系人对公示的评标结果有异议请在公示期内按有关规定提出。