中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所超大压力键合机招标采购项目中标公告
东方国际招标有限责任公司受中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的委托，就中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所超大压力键合机招标采购项目项目（项目编号：OITC-G16031806）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：
一、项目信息
项目编号：OITC-G16031806
项目名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所超大压力键合机招标采购项目
项目联系人： 王军
联系方式：68725599-8440
二、采购单位信息
采购单位名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
采购单位地址：苏州工业园区若水路398号
采购单位联系方式：俞老师；0512 -62872516
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：
| 包号 | 设备名称 | 数量 | 主要技术规格 | 交货期 | 交货地点 |
| 第1 | 超大压力键合机 | 1套 | （1）设备主要用于晶圆级硅硅熔融键合、金金扩散键合、金硅共晶键合、铝锗共晶键合、铜铜扩散键合、玻璃浆料键合等工艺。 （2）腔体全封闭，侧边用VAT阀门，用于放入待键合基片。 （3）上、下基板加热温度范围：室温至500℃。 （4）压力范围：5KN至100KN，范围内连续可调。 （5）键合后对准精度：≤±5μm （金属键合）。 （6）支持依次将垫片移出的工艺，保证键合对准精度。 | 合同生效后4个月内 | 苏州纳米所指定地点（苏州） |
四、采购代理机构信息
采购代理机构地址：北京市海淀区阜成路67号银都大厦15层
采购代理机构联系方式：王军 ；68725599-8440
五、中标信息
招标公告日期：2016年11月09日
中标日期：2016年12月02日
总中标金额：
中标供应商名称、联系地址及中标金额：
| 包号 | 产品名称 | 规格型号 | 数量 | 服务要求 | 中标金额 | 中标供应商名称 | 中标供应商地址 |
| 1 | 超大压力键合机 | XB8 | 1套 | 质保1年 | 406000欧元 | SUSS MicroTec Lithography GmbH | 上海市南京西路580号 |
评审专家名单：
黎展、李爱国、骆文于、杜志贵、王逸群 (用户代表)
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：
详见其它补充事宜
六、其它补充事宜
| 包号 | 产品名称 | 规格型号 | 数量 | 服务要求 | 中标金额 | 中标供应商名称 | 中标供应商地址 |
| 1 | 超大压力键合机 | XB8 | 1套 | 质保1年 | 406000欧元 | SUSS MicroTec Lithography GmbH | 上海市南京西路580号 |
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