中国科学院高能物理研究所CSNS磁控溅射设备中标公告
无受中国科学院高能物理研究所的委托,就CSNS磁控溅射设备项目(项目编号:C-T-10-08-16-34 )组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:
一、项目信息
项目编号:C-T-10-08-16-34
项目名称:CSNS磁控溅射设备
项目联系人:江丽君
联系方式:0769-89156300
二、采购单位信息
采购单位名称:中国科学院高能物理研究所
采购单位地址:广东省东莞市大朗镇中子源路1号
采购单位联系方式:江丽君,jianglj@ihep.ac.cn
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:
项目用途:CSNS磁控溅射设备主要是为了制备各种纳米和微米金属及氧化物单层或多层膜,材料包括金属、半导体、或绝缘体薄膜,磁性或非磁性材料等。该设备可以用来实现在真空环境下对多样性的薄膜样品进行制备或再处理以及进行原位多场测量,满足用户的需求。
简要技术要求:
CSNS磁控溅射设备的进样室为侧开活门结构,真空状态下,可以通过样品传递机构将样品从进样室传递到两个镀膜室。
两个镀膜室材料为优质316不锈钢,电动上掀盖结构。每一个镀膜室包括样品台组件,磁控溅射靶组件,样品环境组件,真空抽气及真空测量系统,工作气路,电源和电控制系统。
项目工期:6个月
四、采购代理机构信息
采购代理机构全称:无
采购代理机构地址:无
采购代理机构联系方式:无
五、中标信息
招标公告日期:2016年10月26日
中标日期:2016年11月21日
总中标金额:
中标供应商名称、联系地址及中标金额:
序号 | 中标供应商名称 | 中标供应商联系地址 | 中标金额(万元) |
1 | 沈阳科友真空技术有限公司 | 沈阳市苏家屯区青云街14号 | 75.0 |
评审专家名单:
屈化民、陈元柏、奚基伟、马 力、陈延伟、梁天骄、董海义
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:
设备名称及数量:CSNS磁控溅射设备,1套;
单价:75万元
服务要求:乙方负责该设备的方案和技术设计,工艺设计、控制系统的设计和采购、标准零部件的设计和采购以及机械加工、预安装、测试、包装、运输和在甲方现场安装,提供本项目所需的零部件和原材料(包括机械系统和电控制系统等),提供进行预安装和测试时所需的设备和场地以及在甲方现场安装所需的全套工具和工装,并对甲方的人员进行免费的技术培训等。
六、其它补充事宜