张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发注入薄膜等设备采购项目
作者： 发布于：2018-05-03 16:59:00 来源：中国政府采购网
上海国际招标有限公司受中国科学院上海高等研究院委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发注入薄膜等设备采购项目国际竞争性招标进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发注入薄膜等设备采购项目国际竞争性招标
项目编号：0705-184118101808
项目联系方式：
项目联系人：赵丽莉
项目联系电话：86-21-62791919×135
采购单位联系方式：
采购单位：中国科学院上海高等研究院
地址：上海市浦东新区海科路99号
联系方式：黄雨辰、021-20325063
代理机构联系方式：
代理机构：上海国际招标有限公司
代理机构联系人：赵丽莉、86-21-62791919×135
代理机构地址： 中国上海延安西路358号美丽园大厦14、20楼
一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：
序号
货物名称
简要技术说明
1
高密度等离子介质材料生长设备HDP
二氧化硅沉积速率：3800~4600Å/min
二氧化硅刻蚀速率：800~1400Å/min
二氧化硅膜厚片内非均匀性：<3%
二氧化硅膜厚片与片非均匀性：<2%
刻蚀/沉积比率：0.23~0.28
二氧化硅折射率：1.460+/-0.01
二氧化硅膜应力：-1.1+/-0.3E09dynes/cm2
2
中束流离子注入设备MI implant
晶圆尺寸：200毫米
离子注入能量：5-810KeV
掺杂剂量：1E11 to 5E16 ions/cm2
掺杂源：硼(11B+, 49BF2+)，砷(75As+)，磷 (31P+)
晶圆倾斜角度：0至45度
晶圆旋转：0至360度
3
介质膜沉积设备PEOX (SiO2, SiN films deposition)
反应腔：单片单面
晶圆尺寸：200毫米
二氧化硅膜沉积速率：>每分钟6000埃
二氧化硅膜沉积膜厚非均匀性：<1.5%(1sigma/均值)
二氧化硅膜折射率：1.44-1.46
二氧化硅膜应力：-100MPa 至 -300MPa
二氧化硅膜沉积膜厚范围：100埃至3微米
氮化硅膜沉积速率：>每分钟6000埃
氮化硅膜沉积膜厚非均匀性：<1.5%(1sigma/均值)
氮化硅膜折射率：1.99-2.10
氮化硅膜应力：+150MPa至+350MPa
氮化硅膜沉积膜厚范围：100埃至1微米
平均无故障率：>90%
二、投标人的资格要求：
1） 投标人须是投标货物的制造商，或是再制造企业，或是取得有效授权的代理商。若是再制造企业，应当具备再制造生产所需的必备条件（见质检检函[2008]109号“关于规范进口再制造用途旧机电产品检验监管工作的通知”的附件“申请再制造企业登记必备条件”），并向所在地检验检疫机构申请登记；若是代理商，须提供由投标货物制造商或再制造企业出具的针对本项目的书面授权书；2） 投标货物可以是全新设备，也可以是再制造后的旧设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物明确说明（若为旧设备，须提供设备的生产年份和序列号，且须符合国家建设循环经济和再制造产业发展的要求，通过先进工艺技术和产业化生产可以恢复原设计性能。）；3） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台（以下简称招标网，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；4） 投标人须是符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织（须提供营业执照复印件或其他相关登记证明文件）；5） 投标人近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉（须提供承诺书）；6） 投标人应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，投标人须具有高密度等离子介质材料生长设备、中束流离子注入设备、介质膜沉积设备的整机直接供货和装机经验（须提供机台验收证明文件或用户证明文件）；7） 投标人提供的投标货物必须为自有机台，须提供自有机台真实性证明（机台所属证明，down-payment，不接受LOI），投标人须在招标人提出要求后的3天内接受招标人对机台真实性的现场查验。8） 本项目不接受联合体投标。
三、招标文件的发售时间及地点等：
预算金额：3400.0 万元（人民币）
时间：2018年05月03日 09:00 至 2018年05月10日 16:00(双休日及法定节假日除外)
地点：中国上海市延安西路358号美丽园大厦14楼上海国际招标有限公司
招标文件售价：￥1000.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
招标文件获取方式：至现场购买
四、投标截止时间：2018年05月24日 09:30
五、开标时间：2018年05月24日 09:30
六、开标地点：
中国上海市延安西路358号美丽园大厦19楼上海国际招标有限公司（具体见电子屏幕).
七、其它补充事宜
本项目为国际竞争性招标。
八、采购项目需要落实的政府采购政策：
本次招标所需的资金来源已经落实。
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上海国际招标有限公司受中国科学院上海高等研究院委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发注入薄膜等设备采购项目国际竞争性招标进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发注入薄膜等设备采购项目国际竞争性招标
项目编号：0705-184118101808
项目联系方式：
项目联系人：赵丽莉
项目联系电话：86-21-62791919×135
采购单位联系方式：
采购单位：中国科学院上海高等研究院
地址：上海市浦东新区海科路99号
联系方式：黄雨辰、021-20325063
代理机构联系方式：
代理机构：上海国际招标有限公司
代理机构联系人：赵丽莉、86-21-62791919×135
代理机构地址： 中国上海延安西路358号美丽园大厦14、20楼
一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：
| 序号 | 货物名称 | 简要技术说明 |
|---|---|---|
| 1 | 高密度等离子介质材料生长设备HDP | 二氧化硅沉积速率：3800~4600Å/min 二氧化硅刻蚀速率：800~1400Å/min 二氧化硅膜厚片内非均匀性：<3% 二氧化硅膜厚片与片非均匀性：<2% 刻蚀/沉积比率：0.23~0.28 二氧化硅折射率：1.460+/-0.01 二氧化硅膜应力：-1.1+/-0.3E09dynes/cm2 |
| 2 | 中束流离子注入设备MI implant | 晶圆尺寸：200毫米 离子注入能量：5-810KeV 掺杂剂量：1E11 to 5E16 ions/cm2 掺杂源：硼(11B+, 49BF2+)，砷(75As+)，磷 (31P+) 晶圆倾斜角度：0至45度 晶圆旋转：0至360度 |
| 3 | 介质膜沉积设备PEOX (SiO2, SiN films deposition) | 反应腔：单片单面 晶圆尺寸：200毫米 二氧化硅膜沉积速率：>每分钟6000埃 二氧化硅膜沉积膜厚非均匀性：<1.5%(1sigma/均值) 二氧化硅膜折射率：1.44-1.46 二氧化硅膜应力：-100MPa 至 -300MPa 二氧化硅膜沉积膜厚范围：100埃至3微米 氮化硅膜沉积速率：>每分钟6000埃 氮化硅膜沉积膜厚非均匀性：<1.5%(1sigma/均值) 氮化硅膜折射率：1.99-2.10 氮化硅膜应力：+150MPa至+350MPa 氮化硅膜沉积膜厚范围：100埃至1微米 平均无故障率：>90% |
二、投标人的资格要求：
1） 投标人须是投标货物的制造商，或是再制造企业，或是取得有效授权的代理商。若是再制造企业，应当具备再制造生产所需的必备条件（见质检检函[2008]109号“关于规范进口再制造用途旧机电产品检验监管工作的通知”的附件“申请再制造企业登记必备条件”），并向所在地检验检疫机构申请登记；若是代理商，须提供由投标货物制造商或再制造企业出具的针对本项目的书面授权书；2） 投标货物可以是全新设备，也可以是再制造后的旧设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物明确说明（若为旧设备，须提供设备的生产年份和序列号，且须符合国家建设循环经济和再制造产业发展的要求，通过先进工艺技术和产业化生产可以恢复原设计性能。）；3） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台（以下简称招标网，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；4） 投标人须是符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织（须提供营业执照复印件或其他相关登记证明文件）；5） 投标人近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉（须提供承诺书）；6） 投标人应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，投标人须具有高密度等离子介质材料生长设备、中束流离子注入设备、介质膜沉积设备的整机直接供货和装机经验（须提供机台验收证明文件或用户证明文件）；7） 投标人提供的投标货物必须为自有机台，须提供自有机台真实性证明（机台所属证明，down-payment，不接受LOI），投标人须在招标人提出要求后的3天内接受招标人对机台真实性的现场查验。8） 本项目不接受联合体投标。
三、招标文件的发售时间及地点等：
预算金额：3400.0 万元（人民币）
时间：2018年05月03日 09:00 至 2018年05月10日 16:00(双休日及法定节假日除外)
地点：中国上海市延安西路358号美丽园大厦14楼上海国际招标有限公司
招标文件售价：￥1000.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
招标文件获取方式：至现场购买
四、投标截止时间：2018年05月24日 09:30
五、开标时间：2018年05月24日 09:30
六、开标地点：
中国上海市延安西路358号美丽园大厦19楼上海国际招标有限公司（具体见电子屏幕).
七、其它补充事宜
本项目为国际竞争性招标。
八、采购项目需要落实的政府采购政策：
本次招标所需的资金来源已经落实。
