上海市机械设备成套（集团）有限公司受中科院上海微系统与信息技术研究所委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对中科院上海微系统与信息技术研究所电子束曝光系统维护保养进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：中科院上海微系统与信息技术研究所电子束曝光系统维护保养

项目编号：1639-166222610348

项目联系方式：

项目联系人：彭伟

项目联系电话：021-62511070-3305

采购单位联系方式：

采购单位：中科院上海微系统与信息技术研究所

地址：上海长宁路865号

联系方式：纪虹

代理机构联系方式：

代理机构：上海市机械设备成套（集团）有限公司

代理机构联系人：肖晶 张帆

代理机构地址： 021-32557505,1098082323@qq.com

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：

采购项目名称：电子束曝光系统维护保养

数量：1项

简要要求：

1.1维护保养前的数据收集；

1.2电子束光刻系统关机；

1.3由乙方提供消耗品并更换，具体包括 干泵、真空计、水循环过滤器、对物孔等；

1.4加速高压系统交换（由乙方提供并决定是否有必要更换）；

1.5电子束光刻系统启动；

1.6电子束光刻系统调整；

1.7维护保养结束后曝光测试以及结果确认；

二、投标人的资格要求：

1、 符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定，投标人必须为中华人民共和国（不包括香港、澳门及台湾地区）境内（简称“中 国境内”）具有独立法人资格的企业，有相应的经营范围。2、 具备履行合同所必需的通排风系统、自控系统、弱电系统及水电等设备运行的技术能力，具备化学工厂或化学实验室的运行维护技术经验。3、 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。4、 投标人应自觉遵守国家法律法规，在参加本次招标采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件。5、 本项目不接受联合体投标。

三、招标文件的发售时间及地点等：

预算金额：190.8 万元（人民币）

时间：2016年07月21日 09:30 至 2016年07月28日 16:00(双休日及法定节假日除外)

地点：上海长寿路285号恒达大厦2010室

招标文件售价：￥800.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

招标文件获取方式：现购

四、投标截止时间：2016年08月11日 09:30

五、开标时间：2016年08月11日 09:30

六、开标地点：

上海长寿路285号恒达大厦2006室

七、其它补充事宜

招标单位银行信息：

招标代理机构：上海市机械设备成套（集团）有限公司；

开 户 行：上海银行白玉支行

帐    号：316638-03002790962

使用电汇交纳标书款和投标保证金须在电汇凭据附言栏中注明招标编号（1639-166222610348）。

八、采购项目需要落实的政府采购政策：

政府采购法