根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对高密度等离子体源进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：高密度等离子体源

项目编号：IPP-20160310701

项目联系方式：

项目联系人：宋方方

项目联系电话：0551-65595019

采购人联系方式：

采购人：中国科学院合肥物质科学研究院

地址：合肥市蜀山区蜀山湖路350号4号楼321

联系方式：宋方方,0551-65595019

一、招标项目性质、用途、数量、简要技术要求或者招标项目的性质：

3.1. 总体参数要求：

3.1.1束斑直径100 mm-200 mm

3.1.2 等离子体电子密度1E10-1E11 cm-3

3.1.3 等离子体在输运过程中无大量碰撞湮灭，无与真空室直接接触情况。

3.2. 等离子源要求：

3.2.1 采用2.45GHz ECR源及微波输入系统； 配13.56MHz螺旋波（Helicon）天线；

3.2.2 该等离子体源必须能够工作于螺旋波（Helicon）模式下，同时具有屏蔽电容耦合（CCP）模式的功能；

3.2.3 单次实验可稳定连续工作10小时以上；

3.2.4 必须配备全水冷限制器，保证等离子体源的天线与等离子体不接触；

3.2.5 配金刚石窗或陶瓷窗，保证高效传输微波的同时密封真空。

3.3. 真空要求：

3.3.1真空室材料统一采用316L，磁导率<1.05，材料成分应符合GB/3639-2000; GB/8723-99 -5要求；

3.3.2所有腔体、窗口和法兰耐烘烤温度高于300℃；

3.3.3 真空室本底真空度在1E-5 Pa级别；

3.3.4 真空室漏率好于1E-10 Pa m3/s；

3.3.5 运行时真空室外壁温度不高于50℃；

3.3.6真空室总长4 m，模块化设计，每段1 m，可以互相替换，真空室直径大于或等于500 mm；要求配备额外的2段真空室备用。

3.4. 接口要求：

3.4.1真空室预留与50kW射频源、100kW微波源对接的全水冷接口。

3.4.2 每段真空室配备CF160法兰7个，CF 250法兰1个。法兰成上下左右对称分布。

3.5. 磁场要求：

3.5.1 真空室中心磁感应强度在磁镜最弱处达到1650G；

3.5.2 磁场位形可据实验需要调整，可以实现4：1的磁镜比；

3.5.3 磁体温度运行时小于50℃；

3.5.4 所有磁体采用去离子水冷却；

3.5.5 要求配备8个磁体，额外另配2个磁体备用；

3.5.6 现场检测磁场。

3.6. 支架要求：

统一采用316L，磁导率<1.05。

3.7. 诊断要求：

配朗缪尔探针系统,可实时监测电子密度和电子温度，必需考虑配射频补偿（13.56MHz）。

3.8. 水冷要求：

3.8.1 全部部件水冷，每段真空室需配备限制器，要求可以沿轴向运动 200mm。

3.8.2 全装置具备120kW水冷能力（包括真空室、磁体、等离子体耗散热）；

3.8.3 装置真空室须具备10kW的整体热移除能力，单节真空室要求具备 2.5 kW的热移除能力；

二、供应商（或投标人）的资格要求：

1 投标人须提供企业法人营业执照或法人证书、有效的组织机构代码证。2 如投标人代表不是法定代表人，须持有法定代表人授权书（含投标人联系方式）及制造商授权书（如适用）。3 会计师事务所出具的上两年度财务审计报告（如适用）。 4 投标人须具有相关经验和类似业绩，应提供证明材料复印件并加盖投标人公章。 5投标人须提供产品ISO 9001质量管理方面有关文件，如质量保证模式及质量、环境与职业健康安全管理体系认证证书等，且其认证在有效期内。6招标人要求的技术响应及质量保证措施。

三、招标文件的发售时间及地点等：

预算金额：230.0 万元（人民币）

时间：2016年07月01日 10:40 至 2016年07月08日 14:00(双休日及法定节假日除外)

地点：合肥市蜀山区蜀山湖路350号4号楼321

招标文件售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

招标文件获取方式：当面领取或是电子版

四、投标截止时间：2016年07月21日 14:00

五、开标时间：2016年07月21日 14:00

六、开标地点：

合肥市蜀山区蜀山湖路350号4号楼319

七、其它补充事宜

无

八、采购项目需要落实的政府采购政策：

无