上海国际招标有限公司关于同济大学薄膜生长及刻蚀多功能仪

作者： 发布于：2016-06-12 16:30:00 来源：中国政府采购网

　　上海国际招标有限公司受同济大学委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对同济大学薄膜生长及刻蚀多功能仪国际竞争性招标项目进行公开招标，欢迎合格的供应商前来投标。

 

项目名称：同济大学薄膜生长及刻蚀多功能仪国际竞争性招标项目

项目编号：0705-164016316201

项目联系方式：

项目联系人：阮相儒、徐迪

项目联系电话：86-21-62791919×199、120

 

采购人联系方式：

采购人：同济大学

地址：四平路1239号

联系方式：丘学鹏 86-21-65980367

 

代理机构联系方式：

代理机构：上海国际招标有限公司

代理机构联系人：阮相儒、徐迪 86-21-62791919×199、120

代理机构地址： 中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

 

一、招标项目性质、用途、数量、简要技术要求或者招标项目的性质：

项目性质：国际竞争性招标

用途：科学研究

数量：壹套

简要技术要求：

★1、16.5" CF 集群法兰，不少于5个靶枪（位于腔体底部，面朝上），靶枪尺寸为2英寸，均为强磁性靶枪，可在最大4寸样品上实现超高均匀性的镀膜。靶枪共焦设计，可以共溅射，可在平衡，非平衡和磁性材料模式下工作，确保超高镀膜均匀性。每个溅射源都可以进行独立的均匀性微调。所有靶枪均需采用稀土磁铁，磁铁置于冷却水路之外，便于靶枪的维护和清洁。所有靶枪可以承受200摄氏度的高温和10-11Torr的真空。后续能升级到至少8个磁控溅射源。
★2、设备沉积均匀性：优于+/- 1.5% @直径4" 晶圆；
★ 3、样品台可在氧气气氛中加热，加热温度最高可达850摄氏度，控温精度±1摄氏度，SHQ-15A PID控制器，带TC输入，过温保护，+/- 1 ℃控温精度；
★ 4、样品台可以施加射频偏压100w实现反溅射功能。厂家应提供相应的100 Watt射频电源、自动匹配网络器和电缆一套。
★6、预真空室有双视窗，含6个可传送基片载具。样品可以在真空环境中，快速方便从预真空室传递到主沉积反应腔室。预真空室应可以同时放置6个样品，并可在真空中快速实现样品之间的更换，传递到主沉积反应腔室中。

 

二、供应商（或投标人）的资格要求：

1）必须是具有独立法人资格的法人或其他组织，并具有相应的经营范围；2）投标人须为投标设备的制造商或投标设备制造商授权的代理商（代理商必须提供制造商关于本项目的唯一授权书）；3）投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台（以下简称招标网，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册。

 

三、招标文件的发售时间及地点等：

预算金额：195.0 万元（人民币）

时间：2016年06月12日 16:00 至 2016年06月17日 16:00(双休日及法定节假日除外)

地点：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

招标文件售价：￥300.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

招标文件获取方式：公开发售

 

四、投标截止时间：2016年07月05日 09:00

五、开标时间：2016年07月05日 09:00

六、开标地点：

同济大学采购与招标管理办公室（四平路1239号行政楼3楼采购与招标管理办公室会议室）

 

七、其它补充事宜

详情请见中国际招标网（www.chinabidding.com）

 

八、采购项目需要落实的政府采购政策：

不适用

 

 

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