延 期 公 告

项目名称：昆明理工大学2015年中央财政支持地方高校发展专项资金设备购置(第十一批)政府采购项目

招标编号：YDCOH20160262

尊敬的各投标人：

根据本项目实际情况，现对本项目所采购设备“电子束蒸镀薄膜系统”及“等离子化学沉积系统“技术参数作出变更，并将本项目延期后的投标报名截止时间、投标截止时间、开标时间进行公布。

（一）变更后的技术参数：

（1）电子束蒸镀薄膜系统。

1、系统综述：高真空蒸发镀膜系统，集成有2个热蒸发源，1套带有6个电子穴的电子束蒸发源；样品台高度可调节。系统通过PC全自动进行控制，同时具备手动控制模式。

2、主要结构及性能：

2.1 系统主要参数要求

l  2.1.1腔室尺寸：400mm（长）×400mm（宽）×700mm（高），内衬不锈钢；

    2.1.2腔室为前后开门，前门为移门，后门为铰链式开门，O型圈密封；可连接手套箱；

2.1.3腔室门集成有可观察样品的观察窗，配有照明灯，并有防沉积装置；

2.1.4腔室侧面预留有进样室接口，以备后期升级；

    2.1.5电控柜在真空腔室下部，尺寸为1600mm（长）×1000mm（宽）×2300mm（高），占地面积小于1.6平方米；

l  2.1.6沉积室真空度≤ 5×10-7 Torr；沉积室暴露大气后恢复真空度： 1x10-5 Torr ≤ 20分钟，1x10-6 Torr ≤ 45分钟

l  2.1.7膜厚不均匀性≤ +/-5%，速率精度：0.01 Å /s，厚度分辨率：0.01Å，膜厚精度可控制在+/-5%；

    2.1.8安装有可拆卸的防污染隔离墙

l  2.1.9系统控制为全PC自动控制模式，集成有基于Windows的控制软件；可实现自动和手动双模式控制；控制界面分管理人员与操作人员双界面；带有多重互锁机构及预警装置；实验数据可导出；

    2.1.10系统带有安全接地装置。

    2.1.11系统安全设计符合CSA SPE-1000认证

2.2真空系统：

l  2.2.1主泵为普发685L/s分子泵，抽速为700L/S；

l  2.2.2分子泵为侧卧式，安装于主腔室侧面；

l  2.2.3前级泵为安捷伦DS302油泵，抽速为8.2cfm；

    2.2.4安捷伦全量程真空计（测量范围大气环境至3.8×10^-9Torr）；

2.3蒸发源配置：

l  2.3.1 电子束蒸发源一套，配Telemark电子枪并带有6个7cc的坩埚；电子枪配有自动对位装置，程序化控制，配有独立挡板，电子枪功率为6kW；

l  2.3.2热蒸发源2个，2.5kw，配有SCR电源控制器，可以实现共蒸；

    2.3.3蒸发源间安装有防交叉污染隔离装置，并可拆卸。

2.4工艺过程及样品台控制：

2.4.1PC控制的Inficon镀膜控制系统，包括镀膜控制软件，镀膜控制卡；

2.4.2QCM膜厚检测仪，晶振探头固定于刚性的支架上，带有水冷系统以提高读数的准确性；

2.4.3样品台具备旋转功能，无极调速，旋转速度区间范围0-50转/分钟；

2.4.4样品台可以固定6英寸以内及不规则小尺寸样品；

2.4.5配有3个蒸发源挡板和1个开合式样品台挡板（气动方式）；

3、系统配置：

3.1  真空腔室1个，尺寸长400mm×宽400mm×高700mm

3.2  真空系统1套，包括1个普发6850L/s的分子泵和1个安捷伦DS302 8.2cfm的前级泵

3.3  2.5kw热蒸发源2个

3.4  6kw电子枪1套，带6个7cc坩埚

3.5  样品台1套,最大可装载6英寸片子，旋转0-50转/分钟

3.6  Inficon镀膜控制系统1套

3.7  膜厚检测探头2个

3.8  PC电脑及Windows7专业版操作系统

（2）等离子化学沉积系统。

1、参数

1.1壳体结构：采用双层壳体结构，使得壳体表面的温度小于60度；炉膛材料采用氧化铝多晶纤维。

1.2炉膛有效尺寸：150x150x150mm。

1.3工作电源：AC220V /50HZ、额定功率:2KW。

1.4工作温度：≤1750℃（连续工作）；最高温度1800℃（≤2小时。

1.5温控系统：智能化30段可编程控制，采用B型双铂铑热电偶进行测温。

1.6升温最快速率：10℃/min；恒温精度:±1℃。

1.7加热元件：Kanthal Super-1900型硅钼棒加热。

1.8炉门结构：侧开式。

1.9外形尺寸：500x490x700mm。

1.0净重：120KG。

1.11标准配件：门堵1块、坩埚钳1把、高温手套1付、热电偶1根、垫砖1块

2、系统配置

2.1高温电炉2台；

2.2抛光机1台；

2.3高速离心机（15000r/min,6*50ml）1台；

2.4行星式球磨机（含4个真空不锈钢球磨罐）1台；

2.5纯水机1台。

（二）延期后的时间安排

1.投标报名截止时间：2016年5月25日17:30时(北京时间)。

2.投标文件递交时间：2016年5月26日08:30～09:00时(北京时间)。

3.投标截止时间：2016年5月26日09:00时(北京时间)。

4.开标时间及地点：2016年5月26日09:00时(北京时间)；云南省公共资源交易中心二楼开标厅4（地址：昆明市高新开发区科发路269号交易大厦）。

其余内容不变，请各投标人遵照执行！

云南元大工程咨询有限责任公司

2016年5月10日