中国科学院电工研究所高真空多功能化合物半导体快速沉积研究系统、DC和RF磁控溅射系统采购项目招标公告
日 期: 2015年2月12日
招标编号: OITC-G15035061
1、东方国际招标有限责任公司受 中国科学院电工研究所 （招标人）的委托，就中国科学院电工研究所高真空多功能化合物半导体快速沉积研究系统、DC和RF磁控溅射系统采购项目，(以下简称项目）所需的货物和服务，以公开招标的方式进行采购。现在邀请合格的投标人就下列货物及有关服务提交密封投标。有兴趣的投标人可从招标代理所在地址得到进一步信息和查看招标文件。
| 包号 | 货物名称 | 数量 | 用途 | 简要技术要求 | 是否允许采购进口产品 |
| 1 | 高真空多功能化合物半导体快速沉积研究系统 | 1套 | 科研 | 实现与现有近空间升华设备（CSS）的良好对接，在良好对接的接口之外，预留用于CSS过程完成后实现样品冷却的过度腔室。 | 否 |
| 2 | DC和RF磁控溅射系统 | 1台 | 科研 | 基片温度不高于800 oC，加热器必须耐氧，加热器使用寿命至少5年以上。 base pressure <1E-5 Pa（带烘烤抽1天），从大气开始抽1.5 hr内进入<1E-4Pa。 | 否 |
投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。
2、投标人资格条件：
1） 具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；
2） 按招标公告的规定获取招标文件；
3） 本项目不接受联合体投标。
3、有兴趣的投标人可从 2015 年 2 月 12 日至 2015 年 3 月 5 日（节假日除外）每天上午9:00至下午17:00（北京时间）在东方国际招标有限责任公司（地址：北京市海淀区阜成路67号银都大厦15层）1507室查阅或购买招标文件，本招标文件售价为500元/包，如需邮寄另加100元的邮资费用，邮寄过程中产生的任何问题由购买标书人自行负责，售后不退。
4、所有投标文件应于 2015 年 3 月 6 日上午9:30时（北京时间）之前递交至北京市海淀区阜成路67号银都大厦15层东方国际招标有限责任公司1513室投标文件递交处，逾期收到或不符合规定的投标文件将被拒绝。
5、兹定于 2015 年 3 月 6 日上午9:30在北京市海淀区阜成路67号银都大厦15层东方国际招标有限责任公司1513室进行公开开标。届时请投标人派代表出席开标仪式。
招标机构名称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区阜成路67号 银都大厦15层
邮 编：100142
电 话：010-68725599-8448 传真：010-68458922
电子信箱：zychi@osic.com.cn
联 系 人：迟兆洋
开户名（全称）：东方国际招标有限责任公司
开户银行：招行西三环支行
账 号：862081657710001
备注：鼓励以电汇方式购买招标文件、递交投标保证金和支付中标服务费：
1、须在电汇凭据附言栏中写明招标编号及用途。
2、以电汇方式购买招标文件的，需注明项目编号包号、供应商名称、联系人及联系方式等相关信息连同电汇底单发送至电子信箱zychi@osic.com.cn。
