招标文件编号：LNZB-GJZ2013-032-02

项目编号: DDWW2013020

辽宁工程招标公司受东北大学的委托，对“东北大学第二十批教学仪器设备采购项目（招标编号：LNZB-GJZ2013-032-02/项目编号: DDWW2013020）”进行公开招标，现欢迎合格的投标人参加本次政府采购活动。

一、采购内容

01包：场发射电子探针 1台

02包：场发射球差校正透射电镜 1套

03包：X射线荧光光谱仪 1台

二、技术参数：

（一）第01包：场发射电子探针

1、电子光学系统

1.1二次电子分辨率：3nm（工作距离11mm，30kV）

1.2电子枪：热场发射电子枪

1.3电子枪对中：二级偏转电磁式，可显示灯丝像

1.4加速电压：1 ~ 30kV(步长为0.1kV)

1.5束流范围：5X10-7 ~ 10-12A

1.6束流稳定度：±3×10-3/h；±3×10-3/12h

1.7放大倍数：×40 ~ ×300,000*

1.8空间分辨率：0.1μm；最小束斑：40 nm (10 kV, 1×10-8 A)，100 nm (10 kV, 1×10-7 A)

1.9物镜：超级小物镜（水冷）

1.10物镜光栏：4级可变光栏, 用户可自己更换

1.11束流探测器：气动式法拉第杯（标准配置）

1.12自动聚焦，自动消像散，自动衬度/亮度调整：标准配置

1.13大焦深模式：标准配置

2、波谱系统

2.1元素探测范围：5B ~ 92U（标准）,Be（选购相应的分光晶体）

2.2谱仪2θ角范围：XCE型谱仪：25°~ 136°, H型谱仪：36°~ 118.5°

2.3 X射线出射角：40°

2.4罗兰圆半径：140mm（XCE、TXE、FCS型谱仪）,100mm（H型）结合

2.5谱仪控制：异步控制+同步控制

2.6分光晶体的交换：可在谱仪扫描区间任何位置交换，交换后无需调整

2.7 X射线探测器：气流正比计数管(GPC), 氙气正比计数管(XPC)

2.8 X射线波谱分析实验条件（主放大器，增益，探测器高压，脉冲高度分析仪等）：根据所测元素及相关的分光晶体，自动设置实验条件

2.9自动全元素定性分析：约40秒

2.10波谱仪配置：4道（3道即可覆盖全元素）

3、光学显微镜系统

3.1分辨率：1μm

3.2焦深：≤±1μm

3.3放大倍率：×414

3.4通过光学显微镜控制样品台：可以

4、样品台系统

4.1驱动方式：步进马达

4.2行程: X=90mm;Y=90mm

4.3分析区域： 90×90mm

4.4样品台载物大小：100×100×50mm，另外提供四孔和九孔样品台各一个

4.5移动速度: 最大150mm/秒

4.6样品台定位方式及回复精度：±1µm

4.7驱动方向：除X和Y方向驱动样品外，还可沿对角线方向驱动样品

4.8曲面样品分析(Guide-net Mapping)：标准配置，用于非平面样品（曲面）的分析

5、背散射电子探测器

5.1探头：Si P-N结环形探测器; 视频输出：拓朴像、成份像

6、分析软件

6.1 WDS定性分析程序

6.2 EDS定性分析程序

6.3 WDS/EDS无标样定量分析程序

6.4 WDS/EDS定量分析程序

6.5校正曲线法分析程序

6.6 WDS/EDS线分析程序

6.7 WDS/EDS区域分析程序

6.8连续自动分析程序

6.9合成面分析程序

6.10电子探针操作程序

6.11初始条件设定程序

6.12文件搜索程序

6.13电子束跟踪程序

6.14报告书程序

7、真空系统

7.1采用无油污染的分子泵系统，对轻元素的分析没有影响的同时样品交换所需的时间快，只需1.5分；探针从开机到正常工作，抽气时间为25分钟。

8、图像显示

8.1可在计算机的显示器上同时显示二次电子像、背散射电子像（分为成分像和拓扑像两种）和光学显微像，共计四种像（数字化像），便于分析比较。

9、能谱仪：一体化能谱仪系统

9.1计算机控制系统及软件

9.2操作系统：Windows系统

9.3彩色显示器分辨率： 用于EPMA操作及分析：1280×1024,用于扫描图像观察：1280×1024

10、环境改造：达到使用要求。

（二）第02包：场发射球差校正透射电镜

1、设备用途

场发射分析型透射电子显微镜主要用于材料的原子级高分辨形貌观察和原子级成分分析，系统由电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成。

2、主要工作条件

2.1电源电压：

2.1.1主机:：AC单相220V (± 10%)，≥50A，50/60Hz

2.1.2球差校正器：AC单相100-240V，1500W，50/60Hz

2.1.3球差校正器用电脑：AC单相100-240V，250VA/200W，50/60Hz

2.1.4电源及频率稳定性：≤±5%

2.1.5冷却循环水：AC 380V (± 10%) 50Hz 三相

2.1.6地线：≤5欧姆以下独立地线

2.2 工作环境温度： 20±5℃，

温度的漂移小于等于 0.2℃/h

温度波动小于等于0.05 ℃/min

2.3 环境相对湿度： ≤60％

2.4 压力变化：≤ 1 Pa

2.5 空气流动： ≤100mm/秒

2.6 噪音：≤50-60dB

2.7 振动：≤0.2-0.4um

2.8 磁场：直流电流磁场波动：小于0.05mT，交流电流磁场波动：小于0.05mT

3、技术要求及参数

3.1 电子枪和加速电压

3.1.1 电子枪：肖特基热场发射电子枪*

3.1.2 加速电压：加速电压≥200kV，可实现加速电压连续可调并正常稳定工作。

3.1.3加速电压稳定度：≤ 1ppm/min(峰峰值)*

3.1.4物镜电流稳定度：≤ 0.5ppm/min(峰峰值)*

3.2 分辨率

3.2.1 点分辨率≤0.23nm；（样品台≥±35度角时，点分辨率≤0.23nm）*

3.2.2 线分辨率≤0.10nm*

3.2.3 STEM暗场分辨率≤0.08nm

3.3 最小束斑尺寸：